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该产品为磁控溅射真空镀膜设备。
磁控溅射属于物理气相沉积(PVD),是在电场+正交磁场共同作用下,利用高能惰性气体离子轰击靶材,使靶材原子/分子被溅射出来,并在基底上沉积形成致密薄膜的技术。
此款设备主要应用于钙钛矿太阳能电池空穴传输层、电极层的制备,可提供定制化的设备配置,灵活匹配客户的生产节拍与产能规划。